초소형 기전연구실

이상훈 교수

차량용 압력·유량 센서와 초소형 기전 소자를 개발한다. AFM 프로브·마이크로 그리퍼, 집속이온빔·산화아연 증착 및 PZT 식각 등 마이크로·나노 기전 시스템의 소자와 공정을 연구한다.

소개 출처 ↗ · 공식 홈페이지의 연구 내용을 요약했습니다.