Semiconductor Lab.

오정우 교수

AI·전력 반도체를 위한 원자층 증착과 나노 가공을 연구한다. 산화베릴륨 유전체의 열전도 특성을 이용한 소자 열 관리 및 금속 촉매를 활용한 화학 식각으로 삼차원 반도체 나노패턴을 제작하는 기술을 다룬다.

소개 출처 ↗ · 공식 홈페이지의 연구 내용을 요약했습니다.