나노소자 공정 연구실

김수현 교수 · 차세대 반도체 소재

원자층 증착과 영역 선택 증착을 이용한 나노박막 공정·전구체를 개발한다. 반도체 구리 배선과 차세대 연결 기술, 에너지 변환·저장·센싱용 나노소재를 주요 응용 분야로 연구한다.

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